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Fachbeitrag: Feine Mikromechanik - MEMS-Mikrofon MEMS-1

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  • 206943
  • 2017-04-07
Mikro-Elektromechanische Systeme (MEMS) sind ein äußerst interessantes Technikgebiet, das noch relativ jung ist, aber sich zunehmend weite Anwendungsbereiche erobert. Das hier vorgestellte MEMSMikrofon ist eine solche Anwendung. Es ist extrem kompakt und hat einen sehr weiten Frequenzbereich, der bis weit in den Ultraschallbereich geht. So findet es gleich einmal seine Anwendung in dem ebenfalls in diesem ELV Journal vorgestellten Fledermaus-Detektor.
Bausatzinformationen
ELVjournal
4 / 2017
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